日本SMC小型真空過(guò)濾器/進(jìn)口SMC過(guò)濾器
溫度穩定性高、溫度調節范圍寬、具有故障診斷外部通信，多用于半導體工藝設備。
符合UL和SEMI標準、CE規格。
可選擇帶變頻器類(lèi)型。
帕耳帖式溫控器  HEC
高精度溫控器
系列/
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩定性 冷卻方式 循環(huán)液
HEC  10～60℃ 230W ±0.01～
0.03℃ 帕爾貼式
空冷卻式 清水
600、1200W ±0.01～
0.03℃ 帕爾貼式
水冷卻式 清水
氟素化液
特長(cháng) 用于高精度的溫度控制。
用帕爾貼式元件可實(shí)現無(wú)氟里昂高精度溫度控制。
結構簡(jiǎn)單，可靠性高。
小型、低震動(dòng)，容易組裝。
可用于寬泛的電源電壓下。
符合UL標準、CE規格。
帕爾貼式溫調恒溫槽   HEB
高精度恒溫槽
系列/
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩定性 冷卻方式 循環(huán)液
日本SMC小型真空過(guò)濾器/進(jìn)口SMC過(guò)濾器
HEB  -15～60℃ 140W ±0.1℃ 帕爾貼式
水冷卻式 清水
氟素化液
特長(cháng) 用帕爾貼式元件可實(shí)現高精度溫調恒溫槽。
小型、低噪音。
*的攪拌方式使槽內上下溫度分布均勻。
帕耳帖式化學(xué)液溫控器  HED
氟樹(shù)脂化學(xué)液溫控器
系列/
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩定性 冷卻方式 循環(huán)液
HED  10～60℃ 300～750W ±0.1℃ 帕耳帖式
水冷卻式 去離子水（純水）
化學(xué)液
特長(cháng) 采用了氟樹(shù)脂熱交換機，實(shí)現化學(xué)液的直接溫控。
氟樹(shù)脂熱交換機可以適應于多種化學(xué)液。
符合UL標準、CE規格。
帕耳帖式空氣溫控器   HEA
系列/
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩定性 冷卻方式 適用流體
HEA  0～50℃ 22W ±0.1℃ 帕耳帖式
空冷卻式 空氣
特長(cháng) 使用帕爾貼元件的高精度、小型溫調器。
對應于局部溫調或小容量溫調。
2色顯示式高精度數字式壓力開(kāi)關(guān)  ZSE/ISE30A
系列/CAD 種類(lèi) 額定壓力范圍
ZSE30A  真空低壓 -100.0～100.0kPa
ISE30A  正壓 0.000～1.000MPa
特長(cháng) 帶快換接頭 （直通型、彎頭型）

省空間，設置時(shí)無(wú)用空間減少，安裝緊湊。
顯示值有微調功能。
高精度數字式壓力開(kāi)關(guān)  ZSE/ISE40A
系列/CAD 種類(lèi) 額定壓力范圍
ZSE40AF  混合壓 -100.0～100.0kPa
ZSE40A  真空低壓 -101.3～0.0kPa
ISE40A  正壓 0.000～1.000MPa
特長(cháng) IP65
帶快換接頭。
帶自動(dòng)移位功能。高壓用2色顯示數字式壓力開(kāi)關(guān)   ISE70·75 （H）
系列/CAD 種類(lèi) 額定壓力范圍
ISE70  正壓 （空氣用）  0～1MPa
ISE75  正壓 （通用流體用）  0～10MPa
ISE75H  正壓 （通用流體用） 0～15MPa
特長(cháng) 金屬主體型（鋁壓鑄）
IP67
帶M12插頭。
2色顯示數字式壓力開(kāi)關(guān)   ZSE/ISE80
系列/CAD 種類(lèi) 額定壓力范圍
ZSE80F  混合壓 -100.0～100.0kPa
ZSE80  真空壓 -101.0～0.0kPa
ISE80  正壓 -0.100～1.000MPa
ISE80H  正壓 -0.100～2.000MPa
特長(cháng) 使用不銹鋼膜片，故適合廣泛的流體。
IP65
符合RoHS。
低泄漏。VCR®, Swagelok®接頭可選擇。
帶快換接頭（直通型、彎頭型）

背面配管、下方向配管。
多種流體用高精度數字式壓力開(kāi)關(guān)   ZSE/ISE50·60
系列/CAD 種類(lèi) 額定壓力范圍
ZSE50F?60F  混合壓 -100.0～100.0kPa
ISE50?60  正壓 0.000～1.000MPa
特長(cháng) 使用不銹鋼膜片，故適合廣泛的流體。
IP65
低泄漏。VCR®, Swagelok®接頭可選擇。
LCD顯示型數字式壓力開(kāi)關(guān)   ZSE/ISE3
系列/CAD 種類(lèi) 額定壓力范圍
ZSE3  真空壓 -101～0kPa
ZSE3L  正壓 0～98kPa
ISE3  正壓 0～0.98MPa
特長(cháng) 內置故障預報功能。
可用于ZX真空發(fā)生器。
帶真空過(guò)濾器。小型壓力開(kāi)關(guān)   ZSE/ISE1
系列/CAD 種類(lèi) 額定壓力范圍
ZSE1  真空壓 -101～0kPa
ISE1L  正壓 0～100kPa
ISE1  正壓 0～1MPa
特長(cháng) 可用于ZM真空發(fā)生器。
小型壓力開(kāi)關(guān)   ZSE/ISE2