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簡(jiǎn)要描述:原裝panasonic傳感器,松下結構圖受光部一體型,無(wú)需繁瑣的光軸調整。并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域,可對應各種不同尺寸的晶圓。模擬輸出(1~5V)除了系數調整功能之外,還具備方便的偏移調整功能,可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。
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原裝panasonic傳感器,松下結構圖
使用安全的紅色LED作為光源,無(wú)需任何繁雜的安全措施。無(wú)需使用激光時(shí)的保護罩,在美國使用時(shí)不需要符合FDA標準。
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線(xiàn)工時(shí)降至限度,維護輕松。
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現光電傳感器同等的低功耗。
在傳感器背面設置前端和中心部?jì)蓚€(gè)檢測部。傳感器前方發(fā)生漏液時(shí),如果前端檢測部檢測微量的初期漏液,漏液增多直至中心部,則傳感器檢測到異常漏液。
以往,漏液的雙重檢測是在不同的高度設置兩臺傳感器,現在一臺傳感器即可檢測。
雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高性能,因此可實(shí)現高精度檢測。
使用控制器的安全輸入功能,可輸入控制器的過(guò)渡接線(xiàn)、緊急停止開(kāi)關(guān)和安全門(mén)開(kāi)關(guān)等的安全用接點(diǎn)
(2NC)。將安全輸出集中到一個(gè),力求節省安全回路的配線(xiàn)、降低成本。
投、受光部一體型,無(wú)需繁瑣的光軸調整。并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域,可對應各種不同尺寸的晶圓。
模擬輸出(1~5V)除了系數調整功能之外,還具備方便的偏移調整功能,可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。
控制器配備兩個(gè)獨立的CPU,相互檢查動(dòng)作狀態(tài)。信號處理回路和輸出回路雙重設置,確保安全性。為了進(jìn)一步保證安全動(dòng)作,通過(guò)FMEA※追求更高安全性
GX-15型實(shí)現了動(dòng)作距離8.0mm±8%的長(cháng)距離型的添加。 |
對于新的安裝支架[MS-GX6-1(另售)],1顆M3螺絲就可以對傳感器進(jìn)行安裝。同時(shí),緊貼安裝,能夠節省電纜。 |
原裝panasonic傳感器,松下結構圖
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