測定方法：

①在防靜電的室內(丙烯樹(shù)脂制、不銹鋼制)設置氣缸

②提供與顆粒計數器吸入量（28.3/min）相同流量的潔凈空氣（0.1μm過(guò)濾器）

③在不動(dòng)作狀態(tài)，確認顆粒計數器的值為“0”

④使氣缸動(dòng)作,測量動(dòng)作中產(chǎn)生的顆粒

※使用帶密封的測試室,以確保除氣缸發(fā)塵外,其他的顆粒不進(jìn)入室內

測定條件：

空氣

氣缸驅動(dòng)用：「等2.2.1」（JISB8392－1）

凈化用：「等2.2.1」＋0.1μｍ氣體過(guò)濾器

氣缸供應壓力：0.5MPa

氣缸動(dòng)作速度：一般速度（200mm/s）

動(dòng)作條件：無(wú)負荷、水平設置（與凈化流量平行）

         對排氣處理型的溢流氣口配管，排放到測試室外

         對真空除塵型的真空除塵氣口配管，進(jìn)行真空除塵（－26KPa）